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本发明提供了一种投影物镜，用于将物方的图像投影在像方上，所述物镜从物方开始沿光轴依次包括；具有正光焦度的第一透镜组、具有负光焦度的第二透镜组、具有正光焦度的第三透镜组、具有负光焦度的第四透镜组、以及具有正光焦度的第五透镜组，在第一透镜组、第...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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