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提供了一种可变焦距(VFL)透镜系统，包含VFL透镜、VFL透镜控制器、物镜、相机和光焦度监测配置。在标准工件成像模式期间，物镜将工件光沿着成像光学路径穿过VFL透镜透射到相机，这提供对应的工件图像曝光。在光焦度监测模式期间，光焦度监测配置...
该专利属于株式会社三丰所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社三丰授权不得商用。

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