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本公开涉及用于离子束测量的装置和方法。一种离子束测量方法包括通过使得挡板以所述挡板的至少一个狭缝与至少一个法拉第装置中的各自特定开口分别对齐的方式设置在法拉第装置的正面，使离子束通过所述挡板的狭缝而入射到法拉第装置上，以便测量离子束的横向偏...
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