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一种半导体测试设备及其工作方法，半导体测试设备包括：测试腔体，所述测试腔体包括第一底板，所述第一底板位于测试腔体沿重力方向上的底部，所述第一底板中具有贯穿第一底板的第一开口；卡盘，所述卡盘位于测试腔体内，所述卡盘用于承载待测衬底，所述卡盘包...
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