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高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法制造方法及图纸
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文档序号:20794061
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本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域,具体涉及高精度抗干扰大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、第一偏振片、反馈成像单元、第一透射式准直镜、组合式反射镜、第二偏振分光镜、角漂移量反馈测量单元以及波前畸变反馈测量单元组成。该方法通过增加...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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