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基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置制造方法及图纸
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下载基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置的技术资料
文档序号:20794005
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基于光栅的跟随式三维光电自准直方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域;本发明采用一维反射光栅作为敏感器件,一维透射光栅作为光路校正器件,保证待测光束与入射光束光轴平行,在实现高精度三维角度变化量测量的同时,极大的增加了测量系统的工...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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