温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种晶圆级封装红外探测器,属于半导体技术领域。该红外探测器包括:一盖子晶圆,在所述盖子晶圆的背面上划分有开窗区域、气体吸附区域、PAD区域,以及围绕所述气体吸附区域、所述开窗区域和所述PAD区域的键合区域;所述气体吸附区域开设...该专利属于南京方旭智芯微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京方旭智芯微电子科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型涉及一种晶圆级封装红外探测器,属于半导体技术领域。该红外探测器包括:一盖子晶圆,在所述盖子晶圆的背面上划分有开窗区域、气体吸附区域、PAD区域,以及围绕所述气体吸附区域、所述开窗区域和所述PAD区域的键合区域;所述气体吸附区域开设...