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一种半导体夹具，包括：载具，载具包括第一中心区和包围第一中心区的第一边缘区，第一中心区内具有若干个相互分立的晶圆区，载具包括第一面，各晶圆区内具有一个第一开口和包围第一开口的若干个第一定位针，第一定位针位于第一面的表面，第一面暴露出第一开口...
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