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等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，包括衬套主体；衬套主体包括圆柱型衬套基体；衬套基体外壁的左端头设置有法兰凸台；法兰凸台的右侧、在衬套基体的外壁上设置有卡紧凸台；卡紧凸台的右端、在衬套基体的外壁上匹配设置有盖板；盖板与卡紧凸台之间构...
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