温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开一种光罩和应用该光罩的曝光系统，其中，光罩包括完全透光区和围设于所述完全透光区外围的完全遮光区，所述完全透光区内设有遮光区，定义所述遮光区的光穿透率为T，0≤T＜100％。本实用新型的技术方案能够提升隔垫物的自由端面的平整度，...该专利属于惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司授权不得商用。