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一种光学元件位相型缺陷测量装置，包括：光源，沿光源的光束传播方向依次放置样品台、显微放大系统、分光系统和探测系统。本实用新型具有装置简单、成本低、操作方便等优点，可测量光学元件位相型缺陷。...
该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。

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