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本发明公开了一种硅基底类金刚石保护膜，包括硅基底、类金刚石保护膜及锗连接层；所述锗连接层设置于硅基底与类金刚石保护膜之间。本发明中的一种硅基底类金刚石保护膜，在硅基底与类金刚石保护膜之间设置了锗连接层，增强了类金刚石保护膜在硅基底上的附着力...
该专利属于云南北方驰宏光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过云南北方驰宏光电有限公司授权不得商用。

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