下载一种三栅组件及含有该三栅组件的离子源的技术资料

文档序号:20787963

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种三栅组件,包括依次平行设置的内栅网、中栅网和外栅网,所述内栅网内侧设有内法兰,所述内栅网安装于所述内法兰上,所述外栅网外侧设有外法兰,所述外栅网安装于所述外法兰上,所述内法兰与所述中栅网之间、以及所述外法兰与所述中栅网之间均...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。