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本实用新型公开了一种晶体生长炉用保温托盘及保温罩,涉及晶体生长设备技术领域。本实用新型的保温托盘设置在侧屏下方,用于码放并支撑侧屏,包括环状盘体,环状盘体的中部设有通孔,在该通孔的内壁上设有凸缘;环状盘体的上表面布置有若干同心的环状槽,环状...该专利属于成都新源汇博光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都新源汇博光电科技有限公司授权不得商用。
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