下载一种膜厚调节器及蒸镀设备的技术资料

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本实用新型提供一种膜厚调节器及蒸镀设备,所述膜厚调节器包括:线源以及设置于所述线源上的喷嘴组,所述线源具有一喷嘴安装面,所述喷嘴组包括沿线源方向设在所述喷嘴安装面的多个喷嘴。该膜厚调节器及蒸镀设备,有效改善蒸镀膜的均一性。...
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