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一种膜厚调节器及蒸镀设备制造技术
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下载一种膜厚调节器及蒸镀设备的技术资料
文档序号:20781713
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本实用新型提供一种膜厚调节器及蒸镀设备,所述膜厚调节器包括:线源以及设置于所述线源上的喷嘴组,所述线源具有一喷嘴安装面,所述喷嘴组包括沿线源方向设在所述喷嘴安装面的多个喷嘴。该膜厚调节器及蒸镀设备,有效改善蒸镀膜的均一性。...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。
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