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化学增幅型正型感光性树脂组成物、光阻图案及其形成方法以及电子装置制造方法及图纸
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文档序号:20764077
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本发明提供一种化学增幅型正型感光性树脂组成物、光阻图案及其形成方法以及电子装置,该化学增幅型正型感光性树脂组成物包括:含有酸解离性保护基的聚羟基苯乙烯树脂(A);单不饱和腈化合物(B);光酸产生剂(C);以及溶剂(D),使用所述化学增幅型正...
该专利属于奇美实业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过奇美实业股份有限公司授权不得商用。
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