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一种基于高电子迁移率晶体管太赫兹空间相位调制器制造技术
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下载一种基于高电子迁移率晶体管太赫兹空间相位调制器的技术资料
文档序号:20764002
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本发明公开了一种基于高电子迁移率晶体管太赫兹空间外部相位调制器。该器件将具有快速响应的高电子迁移率晶体管与新型人工电磁媒质谐振结构相结合,使其具备对自由空间传播的太赫兹波进行快速调相的能力。本调制器是由半导体材料衬底、HEMT外延层、周期人...
该专利属于南京誉凯电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南京誉凯电子科技有限公司授权不得商用。
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