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本发明获得一种能够精度良好地测量到测量对象面的距离的位移测量装置、测量系统及位移测量方法。本发明的位移测量装置包括：投光部，产生光；传感器头，对测量对象物照射光，且接收所照射的光中在测量对象物的测量对象面反射的光；以及控制部，基于传感器头所...
该专利属于欧姆龙株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过欧姆龙株式会社授权不得商用。

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