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本发明提供一种基板检查装置以及基板检查方法。基板检查装置(1)是对形成有相互邻接并相向的配线(P1)、配线(P2)的基板(100)进行检查的基板检查装置，具备：第一探针(Pr)，用于接触配线(P1)的一端部；第二探针(Pr)，用于接触配线(...
该专利属于日本电产理德股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产理德股份有限公司授权不得商用。

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