下载探针误差检测装置的技术资料

文档序号:20763509

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公开了一种探针误差检测装置,其包括:探针座,用于固定待测探针,待测探针的部分由探针座沿第一方向延伸;以及限位块,在第一方向上与探针座相对设置且能够相对移动,使得探针座与限位块在第一方向上能够相互靠近或远离,限位块面向探针座的表面设有检测区,...
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