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该发明一种用于测量扫描电子显微镜电子束电流的装置，涉及电子技术领域，具体涉及一种测量扫描电镜电子束电流的测量装置。该装置包括：一个带有栅网的法拉第杯、贯穿有两个电极的扫描电子显微镜的样品室隔板、高灵敏度的电流表，各部分之间采用镀有陶瓷的导线...
该专利属于南京誉凯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京誉凯电子科技有限公司授权不得商用。

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