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光测量装置和光测量方法制造方法及图纸
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文档序号:20762821
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本发明的光测量装置(1)包括照射部(10)、检测部(20)和处理部(30)。光源(11)在互不相同的照射期间输出选自3个峰值波长(λ1~λ3)中的任一个峰值波长的照射光(λn)。检测部(20)包含与照射光(λ1~λ3)一对一对应设置的光检测...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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