下载压力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:20762262

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本发明公开了一种压力传感器及其制备方法,所述压力传感器包括相对设置的第一电极板和第二电极板,其特征在于,所述第一电极板包括第一衬底以及设置在所述第一衬底上的金属叉指电极,所述金属叉指电极的表面形成为粗糙表面;所述第二电极板包括一侧表面具有微...
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