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本发明公开了一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱，包括箱体、以及设于箱体内的加热元件和工件台，所述箱体内设有内壳，所述内壳和所述箱体之间形成循环风道，所述工件台位于所述内壳内，所述内壳上设有循环进风口和循环出风口，所述循环进风口和所述循环出风口...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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