一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱制造技术

本发明专利技术公开了一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱，包括箱体、以及设于箱体内的加热元件和工件台，所述箱体内设有内壳，所述内壳和所述箱体之间形成循环风道，所述工件台位于所述内壳内，所述内壳上设有循环进风口和循环出风口，所述循环进风口和所述循环出风口相对布置于所述工件台两侧，所述箱体内还设有用于驱动热风在循环风道内流动的循环风机。本发明专利技术具有结构简单、温度均匀性好等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱
本专利技术涉及烘烤、干燥或固化工艺设备，尤其涉及一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱。
技术介绍
随着高新技术的不断发展,作为促进现代社会进步的三大支柱之一的新材料技术业已成为世界各国学者们争相探索和研究的热点领域。由于电子技术、通讯和控制技术等高技术含量行业的迅速崛起，要求材料的功能化、器件的小型化、结构的智能化程度越来越高，使智能材料的研究更加受到人们的青睐。智能材料与结构是一类具有传感、驱动和控制功能于一体的材料系统，它具有类生物的功能,通过自身的感知和驱动属性,实现材料驱动功能与智能化；通过感知与响应内外界环境的变化,达到自适应的目的。目前，可作为智能材料系统中的执行材料主要有压电材料、形状记忆合金、电致伸缩材料、磁致伸缩材料和电流变体等；可作为传感材料的主要有压电材料、光纤系统及其它各类特性的传感器材料，其中压电材料能够自适应于环境的变化实现机械能和电能之间的相互转化，具有集传感、执行和控制于一体的特有属性，是智能材料系统中的主导材料。近几年压电陶瓷在全球每年销售量按照15%左右的速度增长。压电材料作为机、电、声、光、热敏感材料，在传感器、换能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱，包括箱体（1）、以及设于箱体（1）内的加热元件（2）和工件台（3），其特征在于：所述箱体（1）内设有内壳（5），所述内壳（5）和所述箱体（1）之间形成循环风道（6），所述工件台（3）位于所述内壳（5）内，所述内壳（5）上设有循环进风口（51）和循环出风口（52），所述循环进风口（51）和所述循环出风口（52）相对布置于所述工件台（3）两侧，所述箱体（1）内还设有用于驱动热风在循环风道（6）内流动的循环风机（4）。

【技术特征摘要】
1.一种适用于压电材料结晶工艺的烘箱，包括箱体（1）、以及设于箱体（1）内的加热元件（2）和工件台（3），其特征在于：所述箱体（1）内设有内壳（5），所述内壳（5）和所述箱体（1）之间形成循环风道（6），所述工件台（3）位于所述内壳（5）内，所述内壳（5）上设有循环进风口（51）和循环出风口（52），所述循环进风口（51）和所述循环出风口（52）相对布置于所述工件台（3）两侧，所述箱体（1）内还设有用于驱动热风在循环风道（6）内流动的循环风机（4）。2.根据权利要求1所述的适用于压电材料结晶工艺的烘箱，其特征在于：所述加热元件（2）位于所述内壳（5）外。3.根据权利要求2所述的适用于压电材料结晶工艺的烘箱，其特征在于：所述加热元件（2）包括W型的加热管（21）以及多个套设于加热管（21）外周的圆形翅片（22），多个所述翅片（22）沿所述加热管（21）长度方向均匀布置。4.根据权利要求1所述的适用于压电材料结晶工艺的烘箱，其特征在于：所述循环风机（4）的进气侧与所述箱体（1）内壁之间设有第一隔板（71），循环风机（4）的进气侧与所述内壳（5）外壁之间设有第二隔板（72），所述加热元件（2）位于所述循环出风口（...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆广，邓斌，王学仕，周水清，程文进，王志伟，李克，万喜新，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：湖南,43