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根据本发明的一个实施例，提供具有透射率不同的多个层的SiC半导体制造用部件，其包括：两个以上被叠层的层，且所述被叠层的层的各层包括SiC，与相邻的其他层具有不同的透射率值。...
该专利属于韩国东海炭素株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过韩国东海炭素株式会社授权不得商用。

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