下载电极用环的技术资料

文档序号:20759912

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其特征在于,具备3个以上圆弧状硅构件(38)、以及将所述硅构件(38)彼此接合的接合部,所述接合部含有氧化硼。...
该专利属于日本新工芯技株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本新工芯技株式会社授权不得商用。

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