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本发明涉及一种度量系统，其包含：照明源，其用于产生照明光束；多通道光谱滤波器；聚焦元件，其用于将照明从单个光学柱引导到样本；及至少一个检测器，其用于捕获从所述样本收集的照明。所述多通道光谱滤波器包含具有两个或两个以上通道光束路径的两个或两个...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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