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一种晶圆流片用切割装置制造方法及图纸
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下载一种晶圆流片用切割装置的技术资料
文档序号:20756572
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本实用新型涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域,特别是涉及一种晶圆流片用切割装置,其无需工作人员手按材料进行固定,提高安全效果;同时增强材料切割时的固定效果,提高使用可靠性;且方便后续对工作台上遗留的粉屑进行清洁,提高使用性;包括工作台、切割...
该专利属于江苏英锐半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏英锐半导体有限公司授权不得商用。
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