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具有高电热效应的硅掺杂锆钛酸铅非取向薄膜的制备方法技术
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下载具有高电热效应的硅掺杂锆钛酸铅非取向薄膜的制备方法的技术资料
文档序号:20753210
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具有高电热效应的硅掺杂锆钛酸铅非取向薄膜的制备方法,涉及微电子器件制冷领域。本发明是为了解决现有缺少采用非取向薄膜形式对集成电路进行制冷的方法的问题。将乙酸铅溶于冰乙酸溶液中并加热去除水分得溶液A,将正丙醇锆和钛酸四丁酯溶于乙二醇单甲醚中得...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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