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本实用新型涉及一种基板处理装置，基板处理装置包括：输入部，其用于输入针对基板的特性数据；研磨部，其根据由特性数据决定的研磨因素对基板进行研磨；监控部，其对基板的厚度信息进行监控；因素调节部，其以与基板的厚度信息相对应的形式对研磨因素进行调节...
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