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一种不影响肖特基势垒质量的正面金属返工工艺。涉及半导体制造工艺中的湿法腐蚀工艺，尤其涉及一种正面金属返工工艺。提出了一种稳定、高效且不影响产品良率，可有效解决传统工艺中PBE腐蚀液腐蚀Ti时的腐蚀时间极难控制的不影响肖特基势垒质量的正面金属...
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