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本发明实施例公开了一种薄膜晶体管阵列基板的制备方法。本发明实施例方法包括在栅极绝缘层上形成Cu金属薄膜层之后，在黄光制程和刻蚀制程之前，在Cu金属薄膜层上方沉积上一层C膜的步骤。本发明实施例中将Cu膜与外界隔绝，可以避免后续黄光制程和刻蚀制...
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