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晶圆键合方法以及键合晶圆技术
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文档序号:20728276
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一种晶圆键合方法以及键合晶圆,所述方法包括:提供第一晶圆,所述第一晶圆内形成有半导体器件,所述第一晶圆包括中心区域以及环绕所述中心区域的边缘区域;在所述第一晶圆的表面形成介质层;对所述第一晶圆进行边缘研磨修剪,以去除所述边缘区域表面的介质层...
该专利属于德淮半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。
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