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本实用新型公开了一种MEMS芯片及包括该芯片的MEMS麦克风，包括具有侧壁部的衬底，在所述衬底上设置有由振膜以及背极构成的平板电容器结构；所述侧壁部包括有由侧壁部内表面向内凹陷形成的内陷部，该内陷部贯穿所述侧壁部的底面形成储胶槽。本实用新型...
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