温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及半导体处理设备，公开了一种可以自动调整基座以保持基座自平衡的半导体处理设备，包括工艺腔体、旋转轴以及旋转电机，工艺腔体内设置有基座以及支架，支架承托基座，旋转轴的一端伸入工艺腔体内并承托支架、另一端与旋转电机的主轴传动连接，半...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。