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本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶舟基座及炉管装置。所述晶舟基座，包括盖体、控制组件、固定柱和至少一调节柱；所述盖体的上表面用于承载晶舟；所述固定柱与所述调节柱均与所述盖体的下表面连接，用于共同支撑所述盖体；所述控制组件，连接...
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