下载沟槽型二极管器件的技术资料

文档序号:20723746

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本实用新型涉及一种沟槽型二极管器件,所述沟槽型二极管器件包括:半导体衬底;位于半导体衬底内的阵列分布的元胞沟槽;覆盖所述元胞沟槽内壁的介质层,所述介质层的厚度自元胞沟槽顶部向下逐渐增大;位于所述介质层表面且填充满所述元胞沟槽的电极层,所述电...
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