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本发明公开一种监测缓冲腔体氧气浓度的方法，包括：一缓冲腔体，缓冲腔体内设有一机械手臂，机械手臂用于传送器件；一去耦合等离子氮化腔体，去耦合等离子氮化腔体与缓冲腔体连接，去耦合等离子氮化腔体用于对器件进行掺氮工艺；一传感器，传感器与缓冲腔体连...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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