下载基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置的技术资料

文档序号:20719150

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基于螺旋相位板的零差干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域;本发明可以在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下,利用螺旋相位板在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化,使得干涉信号产生足够的相位变化,实现对干涉信号特征...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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