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本发明公开了一种集成电路离板高度测量装置，包括：检测平台、托架侧壁安装板、托架、水平模块、垂直模块和数显千分尺，所述检测平台、托架侧壁安装板和托架围设成第一空间用于安装水平模块和垂直模块；所述水平模块的斜面和所述垂直模块的斜面相配合；所述垂...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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