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本实用新型提供的真空泵，包括外壳以及位于所述外壳上且用于与反应腔室连通的进气口，还包括控制器以及位于由所述外壳围绕而成的腔体内的管道；所述管道用于将吹扫气体自外界传输至所述腔体内；所述控制器，连接所述管道，用于判断用户是否发出进行真空泵维护...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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