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本发明公开了用于硅晶锭生长的换热器、硅晶锭的生长炉和制备硅晶锭的方法,其中,用于硅晶锭生长的换热器在沿轴向方向上包括多个冷却区间,所述多个冷却区间包括至少一个慢冷区间和至少一个快冷区间,其中,所述慢冷区间的冷却效率低于所述快冷区间的冷却效率...该专利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州晶睿半导体装备科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了用于硅晶锭生长的换热器、硅晶锭的生长炉和制备硅晶锭的方法,其中,用于硅晶锭生长的换热器在沿轴向方向上包括多个冷却区间,所述多个冷却区间包括至少一个慢冷区间和至少一个快冷区间,其中,所述慢冷区间的冷却效率低于所述快冷区间的冷却效率...