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本发明公开了一种托盘支撑和固定装置，包括：陶瓷盘，用于放置托盘；压块，设置于陶瓷盘的边缘，用于固定托盘于陶瓷盘上；以及金属支架，固定于陶瓷盘下方，具有n个支架臂，n≥3，用于支撑陶瓷盘，该金属支架与实现托盘旋转的旋转轴固定，在旋转时，带动陶...
该专利属于中国科学院半导体研究所;中国科学院大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所;中国科学院大学授权不得商用。

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