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本发明提供了一种用于原子层沉积的夹具及生产沉积薄膜的方法，该夹具包括底板、盖板、第一滤网、第二滤网和通道手柄，盖板可拆卸地设置在所述底板上，盖板和底板上均设置有通孔，两个通孔相对设置，第一滤网设置在盖板的通孔内，第二滤网设置在底板的通孔内，...
该专利属于嘉兴科民电子设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉兴科民电子设备技术有限公司授权不得商用。

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