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本发明提出了一种稀土金属旋转靶材及其制备方法，该稀土金属选择靶材的制备包括：S1、制备平均粒径D50为10‑80μm的稀土金属粉末；S2、将稀土金属粉末装入模具中；S3、将模具放入冷等静压机内压制成型，得到素胚；S4、将素胚放入烧结炉中烧结...
该专利属于广州市尤特新材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市尤特新材料有限公司授权不得商用。

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