下载一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:20713385

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本发明提出了一种高利用率的稀土金属旋转靶材及其制备方法,该稀土金属选择靶材的制备包括:S1、在冶炼炉内,将稀土金属放入坩埚中加热至800‑2000℃待稀土金属完全熔化至液态;S2、将熔化的稀土金属倒入管状模具中浇铸成型;S3、待模具内稀土金...
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