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用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置制造方法及图纸
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下载用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置的技术资料
文档序号:20710786
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本实用新型提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置,涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件;夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件,第二驱动件能够随第一驱动件转动,从而...
该专利属于深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过深圳先进技术研究院授权不得商用。
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