用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件；夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件，第二驱动件能够随第一驱动件转动，从而带动片材翻转。本实用新型专利技术的夹具利用磁电感应力或磁力等作用力在不开炉情况下实现片材的翻转，在不改变炉子现有结构的前提下实现了片材双面涂层的连续沉积，使用该夹具双面沉积涂层效率高、成本低且易于实施。本实用新型专利技术还提供一种沉积装置，包括炉体，上述夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外，该沉积装置适用于对片材双面进行连续的涂层沉积，效率高，生产周期短。

【技术实现步骤摘要】
用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置
本技术涉及涂层沉积辅助设备
，尤其是涉及一种用于片材双面沉积涂层的夹具及沉积装置。
技术介绍
在热丝气相沉积法制备涂层工艺中，例如制备金刚石涂层工艺中，有时需要在片材的双面沉积金刚石薄膜。目前并没有专门针对双面沉积涂层的沉积设备，受限于现有设备的结构，往往一次只能在片材正对热丝和气源的一面沉积上涂层，而另一面由于活性物质无法到达而不能沉积上涂层。针对这一问题，现有技术一般采取以下手段：在炉子设计的初期或后期改造使气路丝炉子的结构更适用于片材双面沉积，即上下都进气，虽然这种结构的炉子能够满足片材双面沉积涂层的要求，但这种改造后的炉子一般就只能用作生产双面涂层的片材，不能再去生产只需一面沉积的产品(例如铣刀)，降低了炉子的适用性，而且采用此种方式需要改变炉子现有结构，成本高、复杂不易于实施。另外一种方式是先沉积一面然后取出翻转片材沉积另一面，这种情况下往往需要重新开炉将片材取出重新装夹，即原位翻转180度。这种方法生产效率较低，将大大地增加生产周期，主要是需要重新抽真空，如果热丝在开炉过程中断裂，则需要重新上丝和碳化。因此，所期望的是提供一种夹具，能够解决上述问题中的至少一个。有鉴于此，特提出本技术。
技术实现思路
本技术的第一目的在于提供一种用于片材双面沉积涂层的夹具，利用磁电感应力或磁力等作用力在不开炉情况下实现片材的翻转，在不改变炉子现有结构的前提下实现了片材双面涂层的连续沉积，使用该夹具双面沉积涂层效率高、成本低且易于实施。本技术的第二目的在于提供一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材双面沉积涂层的夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外。使用该沉积装置对片材双面进行涂层沉积的效率高，生产周期短。为解决上述技术问题，本技术特采用如下技术方案：第一方面，提供了一种用于片材双面沉积涂层的夹具，包括夹具本体和第一驱动件；所述夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与所述固定件连接的第二驱动件，所述第二驱动件能够随所述第一驱动件转动，从而带动片材翻转。优选地，在本技术技术方案的基础之上，所述第一驱动件和所述第二驱动件均独立地为磁性件，优选为磁铁，进一步优选为铝镍钴磁铁。优选地，在本技术技术方案的基础之上，所述第一驱动件为磁铁，所述第二驱动件为铁磁金属件；或，所述第一驱动件为铁磁金属件，所述第二驱动件为磁铁。进一步的，在本技术技术方案的基础之上，所述夹具本体包括底座、设置于所述底座上并与所述底座垂直的第一支撑杆以及设置于所述第一支撑杆上并与所述底座平行的第二支撑杆；所述第二支撑杆的一端设置有所述固定件，所述第二支撑杆的另一端设置有所述第二驱动件。进一步的，在本技术技术方案的基础之上，所述第一支撑杆远离所述底座的一端设置有承载件，所述承载件包括承载环以及沿所述承载环轴向突出的突出部，所述第二支撑杆穿入所述承载环并放置于所述突出部上。进一步的，在本技术技术方案的基础之上，所述突出部包括分别位于所述第二支撑杆两侧的第一端面和第二端面，所述第一端面和所述第二端面位于同一高度上；所述第二支撑杆的外壁设有突出的限位销，使所述第二支撑杆转动后能够搭设于所述第一端面或所述第二端面。进一步的，在本技术技术方案的基础之上，所述第一支撑杆包括第一空心管和套设于所述第一空心管内的第一支杆，所述第一空心管的外壁设有第一紧固件，通过所述第一紧固件能够调节所述第一支撑杆的长度；优选地，所述第一紧固件为紧固螺钉。进一步的，在本技术技术方案的基础之上，所述第二支撑杆包括第二空心管和套设于所述第二空心管内的第二支杆，所述第二空心管的外壁设有第二紧固件，通过所述第二紧固件能够调节所述第二支撑杆的长度；优选地，所述第二紧固件为紧固螺钉。进一步的，在本技术技术方案的基础之上，所述固定件为固定夹，所述固定夹包括上夹板和下夹板，片材位于所述上夹板和所述下夹板之间，所述上夹板和所述下夹板通过第三紧固件紧固；优选地，所述第三紧固件为配套的螺钉和螺母。第二方面，提供了一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材双面沉积涂层的夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外。与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：(1)本技术提供的用于片材双面沉积涂层的夹具包括夹具本体和第一驱动件；夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与固定件连接的第二驱动件，第二驱动件能够随第一驱动件转动，从而带动片材翻转。使用时，将片材用固定件固定，夹具本体置于沉积装置炉体内(例如使夹具本体的第二驱动件靠近炉子的观察孔处)，第二驱动件位于沉积装置炉体外，利用电磁感应力或者磁力等作用力使炉外的第一驱动件能够控制炉内的第二驱动件转动，进而第二驱动件带动固定件，从而带动片材实现翻转。本技术的夹具结构简单，在不改变炉体结构、使用过程中不开炉的情况下使炉内的片材翻转，片材的一面沉积涂层后可连续向另一面沉积涂层，省去了重新关炉和开炉的工作，操作简单，提高了生产效率、降低了生产周期以及提高了炉子的使用寿命。使用本技术的夹具实现了片材双面涂层的连续沉积，能够更好地满足片材双面沉积涂层的要求，生产效率高、成本低且易于实施。(2)本技术提供的沉积装置，包括炉体，上述用于片材双面沉积涂层的夹具的夹具本体位于炉体内，第一驱动件位于炉体外。鉴于上述用于片材双面沉积涂层的夹具所具有的优势，使得使用本技术夹具的沉积装置也同时具有上述夹具的所有优势，使用该沉积装置能够对片材进行双面连续沉积，沉积效率高、生产周期短。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术一种实施方式的用于片材双面沉积涂层的夹具的夹具本体的结构示意图；图2为本技术一种实施方式的用于片材双面沉积涂层的夹具使用状态下的结构示意图；图3为图1中K处的局部放大图；图4为本技术一种实施方式的用于片材双面沉积涂层的夹具的承载件的结构示意图。图示：100-夹具本体；110-固定件；111-上夹板；112-下夹板；113-第三紧固件；120-第二驱动件；130-底座；140-第一支撑杆；141-第一空心管；142-第一支杆；143-第一紧固件；150-第二支撑杆；151-限位销；152-第二空心管；153-第二支杆；154-第二紧固件；160-承载件；161-承载环；162-突出部；163-第一端面；164-第二端面；200-第一驱动件；300-观察孔。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，包括夹具本体和第一驱动件；所述夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与所述固定件连接的第二驱动件，所述第二驱动件能够随所述第一驱动件转动，从而带动片材翻转。

【技术特征摘要】
1.一种用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，包括夹具本体和第一驱动件；所述夹具本体包括用于固定片材的固定件以及与所述固定件连接的第二驱动件，所述第二驱动件能够随所述第一驱动件转动，从而带动片材翻转。2.根据权利要求1所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件均独立地为磁铁。3.根据权利要求1所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一驱动件为磁铁，所述第二驱动件为铁磁金属件；或，所述第一驱动件为铁磁金属件，所述第二驱动件为磁铁。4.根据权利要求1-3任一项所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述夹具本体包括底座、设置于所述底座上并与所述底座垂直的第一支撑杆以及设置于所述第一支撑杆上并与所述底座平行的第二支撑杆；所述第二支撑杆的一端设置有所述固定件，所述第二支撑杆的另一端设置有所述第二驱动件。5.根据权利要求4所述的用于片材双面沉积涂层的夹具，其特征在于，所述第一支撑杆远离所述底座的一端设置有承载件，所述承载件包括承载环以及沿所述承载环轴向突出的突出部，所述第二支撑杆穿入所述承载环并放置于所述突出部上。6.根据权利要求5所述的用于片材双面...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐永炳，陈波，杨扬，王陶，
申请(专利权)人：深圳先进技术研究院，
类型：新型
国别省市：广东,44