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本发明公开了一种电子级盐酸纯化系统,包括工业级盐酸进料管道、超纯水进水管道、盐酸成品出料管道、再沸器、精馏塔、吸收塔、吸收罐以及循环泵;工业盐酸进料管道经再沸器与精馏塔塔釜相连通,精馏塔塔体出气口与吸收塔相连通,吸收塔出液口和超纯水进水管道...该专利属于江阴江化微电子材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江阴江化微电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种电子级盐酸纯化系统,包括工业级盐酸进料管道、超纯水进水管道、盐酸成品出料管道、再沸器、精馏塔、吸收塔、吸收罐以及循环泵;工业盐酸进料管道经再沸器与精馏塔塔釜相连通,精馏塔塔体出气口与吸收塔相连通,吸收塔出液口和超纯水进水管道...